ساختار سنسور پیزوره

در این سنسور ، نوار مقاومت در دیافراگم سیلیکون مونوکریستالی با فرآیند ادغام برای ایجاد یک تراشه پیزوره ای سیلیکون ادغام می شود و حاشیه این تراشه به طور ثابت در پوسته بسته بندی می شود و منجر به الکترود می شود. سنسور فشار Piezoresistive ، همچنین به عنوان سنسور فشار حالت جامد نیز شناخته می شود ، با فشار فشار چسب متفاوت است ، که باید نیروی خارجی را به طور غیرمستقیم از طریق عناصر حساس الاستیک احساس کند ، اما مستقیماً فشار اندازه گیری شده را از طریق دیافراگم سیلیکون احساس می کند.

یک طرف دیافراگم سیلیکون یک حفره فشار قوی است که با فشار اندازه گیری شده ارتباط برقرار می کند و طرف دیگر یک حفره کم فشار است که با جو در ارتباط است. به طور کلی ، دیافراگم سیلیکون به عنوان یک دایره با حاشیه ثابت طراحی شده است ، و نسبت قطر به ضخامت در حدود 60 60 60 است. چهار نوارهای مقاومت به ناخالصی به صورت محلی بر روی دیافراگم سیلیکون دایره ای پخش می شوند و به یک پل کامل متصل می شوند ، دو مورد از آن در منطقه استرس فشاری و دو مورد دیگر از مرکز دیافراگم هستند و با احترام به استرس تنشیل هستند ، و با احترام به استرس تنسیل هستند.

علاوه بر این ، دیافراگم سیلیکون مربع و سنسور ستون سیلیکون نیز وجود دارد. سنسور استوانه ای سیلیکون همچنین از نوارهای مقاومت با انتشار در جهت مشخصی از یک هواپیمای کریستالی سیلندر سیلیکون ساخته شده است ، و دو نوار مقاومت در برابر استرس کششی و دو نوار مقاومت در برابر تنش فشاری یک پل کامل را تشکیل می دهد.

سنسور Piezoresistive وسیله ای است که با مقاومت در برابر انتشار بر روی بستر مواد نیمه هادی با توجه به اثر پیزوره ای مواد نیمه هادی ساخته شده است. از بستر آن می توان مستقیماً به عنوان سنسور اندازه گیری استفاده کرد و مقاومت انتشار در بستر به شکل یک پل به هم متصل می شود.

هنگامی که بستر توسط نیروی خارجی تغییر شکل می یابد ، مقادیر مقاومت تغییر می کند و این پل خروجی نامتعادل مربوطه را تولید می کند. بسترها (یا دیافراگم ها) که به عنوان سنسورهای پیزوره استفاده می شوند ، عمدتاً ویفرهای سیلیکون و ویفرهای ژرمانیوم هستند. سنسورهای پیزوره ای سیلیکون که از ویفرهای سیلیکون ساخته شده است به عنوان مواد حساس توجه بیشتری را به خود جلب کرده اند ، به خصوص سنسورهای پیزوره ای حالت جامد برای اندازه گیری فشار و سرعت بیشترین استفاده را دارند.