سنسور فشار یکی از سنسورهای رایج است. سنسور فشار سنتی عمدتاً یک دستگاه ساختار مکانیکی است و تغییر شکل قسمت الاستیک نشان دهنده فشار است. اما به دلیل اندازه و وزن آنها نمی توانند برق تولید کنند.

توسعه فناوری نیمه هادی ها نیز منجر به ظهور سنسورهای فشار نیمه هادی شده است. با اندازه کوچک، وزن سبک، دقت بالا و عملکرد دمای خوب مشخص می شود. به خصوص با توسعه فناوری MEMS، حسگرهای نیمه هادی در جهت کوچک سازی، مصرف انرژی کم و قابلیت اطمینان بالا در حال توسعه هستند.

نقش سنسورهای فشار

1. به طور مستقیم برای اندازه گیری فشارهای مختلف استفاده می شود: فشار هوا، فشار هیدرولیک، فشار هیدرولیک (از جمله فشار هیدرولیک)، فشار خون مختلف در زندگی روزمره، و غیره.

2. سنسورهای فشار در اتومبیل ها، برخی موتورسیکلت های نخبه و تقریباً همه موتورهای احتراق داخلی استفاده می شوند.

3. سطح مایع: تجهیزات میدانی مورد استفاده برای اندازه گیری سطح مایع مختلف عمدتاً سنسورهای فشار هستند.

4. بیشتر سیگنال های توزین الکترونیکی و سیگنال های توزین خودرو از سنسورهای فشار می آیند.

سنسورهای فشار عمدتاً برای کنترل و نظارت بر برنامه های خاص استفاده می شوند. در صنعت خودرو، سنسورهای فشار MEMS عمدتاً برای اندازه گیری فشار سوخت، فشار تایر، فشار کیسه هوا و فشار خط لوله استفاده می شود. در زمینه زیست پزشکی، سنسورهای فشار MEMS عمدتاً در سیستم‌های تشخیصی و تشخیصی استفاده می‌شوند. در صنعت هوافضا، سنسورهای فشار MEMS عمدتاً برای کنترل موقعیت فضاپیما و فضاپیما استفاده می شود.