سنسور فشار نیمه هادی که معمولاً مورد استفاده قرار می گیرد از ویفر سیلیکون از نوع N به عنوان بستر استفاده می کند. در مرحله اول ، ویفر سیلیکون با یک هندسه خاص به یک قسمت دارای استرس الاستیک تبدیل می شود. در قسمت تحمل ویفر سیلیکون ، چهار مقاومت انتشار از نوع P در جهت های مختلف کریستالی ایجاد می شود و سپس یک پل گندم چهار بازوی با این چهار مقاومت شکل می گیرد. تحت عمل نیروی خارجی ، تغییرات مقادیر مقاومت به سیگنال های الکتریکی تبدیل می شوند. این پل گندم با اثر فشار قلب سنسور فشار است که معمولاً به آن پل piezoresistive گفته می شود (همانطور که در شکل 1 نشان داده شده است). ویژگی های پل پیزورز به شرح زیر است: reales مقادیر مقاومت چهار بازوی پل برابر است (همه R0). ② اثر پیزوره ای از بازوهای مجاور این پل از نظر ارزش و برعکس در علامت است. ③ ضریب دمای مقاومت چهار بازوی پل یکسان است و همیشه در همان دما قرار دارند. در شکل 1 ، R0 مقدار مقاومت بدون استرس در دمای اتاق است. RT تغییر ناشی از ضریب دمای مقاومت (α) در هنگام تغییر دما است. υ Rδ تغییر مقاومت ناشی از کرنش (ε) است. ولتاژ خروجی پل u = i0 Δ rδ = i0rgδ (پل منبع جریان ثابت) است.

جایی که I0 جریان منبع جریان ثابت است و E ولتاژ منبع ولتاژ ثابت است. ولتاژ خروجی پل piezoresistive به طور مستقیم با کرنش (ε) متناسب است و هیچ ارتباطی با RT ناشی از ضریب دمای مقاومت ندارد ، که باعث می شود میزان رانش دما از سنسور کاهش یابد. پرکاربردترین سنسور فشار نیمه هادی یک سنسور برای تشخیص فشار سیال است. ساختار اصلی آن کپسولی است که از سیلیکون مونوکریستالی ساخته شده است (همانطور که در شکل 2 نشان داده شده است). دیافراگم درون یک فنجان ساخته می شود و قسمت پایین فنجان بخشی است که نیروی بیرونی را تحمل می کند و پل فشار در پایین فنجان ساخته می شود. پایه حلقه از همان ماده کریستالی تک سیلیکون ساخته شده است و سپس دیافراگم به پایه پایه متصل می شود. این نوع سنسور فشار دارای مزایای حساسیت بالا ، حجم و استحکام کم است و به طور گسترده در حمل و نقل هوایی ، ناوبری فضایی ، ابزارهای اتوماسیون و ابزارهای پزشکی مورد استفاده قرار گرفته است.