مناسب برای سنسور فشار روغن هیتاچی KM11 EX200-2-3-5

چهار فناوری فشار سنسور

1. خازنی

سنسورهای فشار خازنی معمولاً مورد علاقه تعداد زیادی از برنامه های حرفه ای OEM هستند. تشخیص تغییرات خازنی بین دو سطح این سنسورها را قادر می سازد تا سطوح بسیار کم فشار و خلاء را حس کنند. در پیکربندی سنسور معمولی ما، یک محفظه فشرده از دو سطح فلزی با فاصله نزدیک، موازی و ایزوله الکتریکی تشکیل شده است که یکی از آنها اساساً یک دیافراگم است که می تواند کمی تحت فشار خم شود. این سطوح (یا صفحات) محکم ثابت شده به گونه ای نصب می شوند که خم شدن مجموعه، شکاف بین آنها را تغییر دهد (در واقع یک خازن متغیر را تشکیل می دهد). تغییر حاصل توسط یک مدار مقایسه‌کننده خطی حساس با (یا ASIC)، که یک سیگنال سطح بالا متناسب را تقویت و خروجی می‌کند، شناسایی می‌شود.

2.نوع CVD

روش تولید رسوب بخار شیمیایی (یا "CVD") لایه پلی سیلیکون را به دیافراگم فولاد ضد زنگ در سطح مولکولی پیوند می دهد، در نتیجه حسگر با عملکرد عالی دریفت طولانی مدت تولید می کند. روش های متداول تولید نیمه هادی پردازش دسته ای برای ایجاد پل های فشار سنج پلی سیلیکونی با عملکرد عالی با قیمت بسیار مناسب استفاده می شود. ساختار CVD عملکرد هزینه ای عالی دارد و محبوب ترین حسگر در کاربردهای OEM است.

3. نوع فیلم کندوپاش

رسوب فیلم پراکنده (یا "فیلم") می تواند سنسوری با حداکثر خطی بودن ترکیبی، پسماند و تکرارپذیری ایجاد کند. دقت می تواند تا 0.08٪ از مقیاس کامل باشد، در حالی که رانش طولانی مدت به اندازه 0.06٪ از مقیاس کامل هر سال است. عملکرد فوق‌العاده ابزارهای کلیدی - حسگر لایه نازک پراکنده ما یک گنجینه در صنعت سنجش فشار است.

نوع 4.MMS

این سنسورها از دیافراگم سیلیکونی میکرو ماشینی (MMS) برای تشخیص تغییرات فشار استفاده می کنند. دیافراگم سیلیکونی توسط 316SS پر از روغن از محیط جدا می شود و آنها به صورت سری با فشار سیال فرآیند واکنش نشان می دهند. سنسور MMS از فناوری رایج تولید نیمه هادی استفاده می کند که می تواند به مقاومت ولتاژ بالا، خطی بودن خوب، عملکرد شوک حرارتی عالی و پایداری در یک بسته سنسور فشرده دست یابد.