سنسور فشار موتور 2CP3-68 1946725 برای بیل مکانیکی Carter

روشی برای تهیه سنسور فشار که شامل مراحل زیر است:

S1، ارائه یک ویفر با سطح پشتی و یک سطح جلو.تشکیل یک نوار پیزورمقاومتی و یک ناحیه تماس بسیار دوپ شده در سطح جلویی ویفر.ایجاد یک حفره عمیق با فشار با حکاکی سطح پشتی ویفر.

S2، چسباندن یک ورق پشتیبانی در پشت ویفر؛

S3، ساخت سوراخ‌های سربی و سیم‌های فلزی در سمت جلوی ویفر، و اتصال نوارهای پیزومقاومتی برای تشکیل پل وتستون.

S4، رسوب و تشکیل یک لایه غیرفعال در سطح جلویی ویفر، و باز کردن بخشی از لایه غیرفعال برای تشکیل یک ناحیه پد فلزی.2. روش ساخت سنسور فشار طبق ادعای 1، که در آن S1 به طور خاص شامل مراحل زیر است: S11: تهیه ویفر با سطح پشتی و سطح جلو، و تعیین ضخامت یک فیلم حساس به فشار روی ویفر.S12: کاشت یون در سطح جلویی ویفر استفاده می شود، نوارهای پیزورزیستیو توسط فرآیند انتشار در دمای بالا ساخته می شوند و نواحی تماس به شدت دوپ می شوند.S13: رسوب و تشکیل یک لایه محافظ در سطح جلویی ویفر.S14: اچ کردن و تشکیل یک حفره عمیق فشار در پشت ویفر برای تشکیل یک فیلم حساس به فشار.3. روش ساخت سنسور فشار طبق ادعای 1، که در آن ویفر SOI است.

در سال 1962، توفت و همکاران.برای اولین بار یک سنسور فشار پیزومقاومت با نوارهای پیزومقاومت سیلیکونی منتشر و ساختار فیلم سیلیکونی تولید کرد و تحقیق بر روی سنسور فشار پیزومقاومتی را آغاز کرد.در اواخر دهه 1960 و اوایل دهه 1970، ظهور سه فناوری، یعنی فناوری اچینگ ناهمسانگرد سیلیکونی، فناوری کاشت یون و فناوری پیوند آندی، تغییرات بزرگی را در سنسور فشار ایجاد کرد که نقش مهمی در بهبود عملکرد سنسور فشار ایفا کرد. .از دهه 1980، با توسعه بیشتر فناوری ریزماشین کاری، مانند حکاکی ناهمسانگرد، لیتوگرافی، دوپینگ انتشار، کاشت یون، باندینگ و پوشش، اندازه سنسور فشار به طور مداوم کاهش یافته است، حساسیت بهبود یافته و خروجی بالا است و عملکرد عالی استدر عین حال، توسعه و استفاده از فناوری جدید ریزماشین کاری باعث می شود ضخامت فیلم سنسور فشار به طور دقیق کنترل شود.